微細(xì)加工技術(shù)雜志論文格式要求：
①題名應(yīng)簡(jiǎn)明、具體，能概括文章的要旨，一般不超過(guò)20個(gè)漢字。
②本刊要求所引用參考文獻(xiàn)不得少于10篇，其中應(yīng)包括一定數(shù)量的國(guó)外文獻(xiàn)和近5年的文獻(xiàn)。
③論著須附200～300字中英文摘要，包括目的、方法、結(jié)果、結(jié)論。
④在首頁(yè)地腳處注明資助基金（名稱(chēng)、編號(hào)、內(nèi)容）、第一作者姓名、性別、出生年、學(xué)歷、職稱(chēng)、從事工作（或主要研究方向）。
⑤為了提高工作效率，來(lái)稿請(qǐng)勿寄個(gè)人。本刊因人力物力所限，來(lái)稿不退，請(qǐng)自留底稿。審稿周期一般為3個(gè)月。逾期未收到通知，可自行處理。
微細(xì)加工技術(shù)雜志往年文章平均引文率
微細(xì)加工技術(shù)雜志往年文章摘錄
微細(xì)工件的高頻群脈沖ECLM試驗(yàn)研究
基于AFM的多圖層圖形加工
氨化Si基Ga2O3/Ta薄膜制備GaN納米線
基于多種群遺傳算法的膜系優(yōu)化設(shè)計(jì)
Al摻雜的ZnO薄膜的XPS譜和光學(xué)特性研究
90 nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)硅柵的干法刻蝕工藝研究
硅基鉑鈦夾層AAO多孔模版制備半導(dǎo)體量子線
微細(xì)電解加工中工具電極的制備及應(yīng)用
基于UV-LIGA技術(shù)的電磁型射頻MEMS開(kāi)關(guān)的集成制作
雙向橫向熱執(zhí)行器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
